Конструкция первого микроскопа приписывается голландцам Хансу и Захарию Янсенам. Случилось это в 1595 году, а устройство представляло собой две установленные в трубке из непрозрачного материала выпуклые линзы. Фокусировка осуществлялась выдвижным тубусом.
Усовершенствовать эту конструкцию удалось Галилео Галилею в 1609 году. При этом он использовал конструкцию телескопа, имеющую выпуклую и вогнутую линзы. Свою конструкцию он назвал оккиолино, что в переводе означает «маленький глаз». Через 10 лет, в 1619 году, Корнелиусом Дреббелем было представлено оккиолино, имеющее две выпуклые линзы. Нынешнее же название современные микроскопы получили в 1625 году, а его автором стал Джованни Фабер.
Значительного улучшения характеристик удалось добиться Антони ван Левенгуку в 1674 году. Он использовал особую технологию шлифовки линз, что позволило ему получить увеличение до 275 раз – в несколько раз больше, чем удавалось получить в то время. При этом в его микроскопах использовалась всего одна линза.
В 1863 году Генри Клифтон Сорби конструирует поляризационный микроскоп, позволивший детально изучить строение минералов и других кристаллических веществ с поляризующими свойствами. Детальная теория была разработана Эрнстом Аббе в период 1866–1873 гг. и с этого времени их создание перестало базироваться на методе проб и ошибок. Он же установил минимальные пределы объектов, которые можно наблюдать в оптический микроскоп.
Основы интерференционной микроскопии были заложены Дж. Сирксом в 1893 г., а первая конструкция двухлучевого интерференционного микроскопа была изготовлена в 1911 г. М. Саньяком.
Открытия в области электронной физики привели к созданию электронного микроскопа, который существенно раздвинул границы наблюдаемого микромира. Случилось это в 1931 г., а его автором стал Эрнст Руска. До конца 20 века было сконструировано еще множество типов микроскопов, основывающихся на различных физических явлениях:
— полевой эмиссионный (1936 г.);
— полевой ионный (1951 г.);
— фазово-контрастный (1953 г.);
— зондирующий атомный (1967 г.);
— сканирующий туннельный (1981 г.);
— сканирующий атомно-силовой микроскоп (1986 г.) и др.
Одним из последних достижений оптической микроскопии является сконструированный в 2006 г. наноскоп, позволивший преодолеть барьер Аббе и увидеть объекты размером менее 10 нм.
